Гексахлордисилан электронной чистоты
ТУ 20.13.52-002-15786532-2020
Химическое соединение высокой чистоты в жидкой форме.
Химическая формула: Si2Cl6.
CAS номер: 13465-77-5
Применяется в процессах химического осаждения из газовой фазы, химического осаждения из газовой фазы при низком давлении, атомно-слоевого осаждения и других процессах, применяемых в производстве полупроводников для осаждения тонких пленок.
