Тетрабромид кремния
Химическое соединение высокой чистоты в жидкой форме.
Химическая формула: SiBr4.
CAS номер: 7789-66-4
Применяется в процессах химического осаждения из газовой фазы, атомно-слоевого осаждения и других процессах, применяемых в производстве полупроводников для осаждения тонких пленок.
