Тетрайодид кремния
Химическое соединение высокой чистоты в форме кристаллов.
Химическая формула: SiI4.
CAS номер: 13465-84-4
Применяется в процессах химического осаждения из газовой фазы, атомно-слоевого осаждения и других процессах, применяемых в производстве полупроводников для осаждения тонких пленок.
