Пентаэтоксид тантала

Химическое соединение высокой чистоты в жидкой форме.

Химическая формула: Ta(OC2H5)5.

CAS номер: 6074-84-6

Применяется в процессах химического осаждения из газовой фазы, атомно-слоевого осаждения и других процессах, применяемых в производстве полупроводников для осаждения тонких пленок.

Новости

Наши партнеры