Пентаэтоксид тантала
Химическое соединение высокой чистоты в жидкой форме.
Химическая формула: Ta(OC2H5)5.
CAS номер: 6074-84-6
Применяется в процессах химического осаждения из газовой фазы, атомно-слоевого осаждения и других процессах, применяемых в производстве полупроводников для осаждения тонких пленок.
